① 高精度温度控制技术： 采用先进的温度控制方案及优化的热场设计，实现高温工艺过程的精准控制与良好稳定性，满足复杂退火工艺需求。
② 先进的颗粒控制技术： 通过优化腔体结构及工艺环境控制，有效降低工艺过程中的颗粒污染风险，提升产品良率及工艺一致性。
③ 微环境氧含量精准控制： 具备先进的微环境氧含量控制能力，有效控制高温退火过程中的氧环境，为对工艺洁净度要求较高的应用提供保障。
④ 高自动化与稳定运行： 配备自动化传输及控制系统，实现晶圆传输、工艺执行及设备状态监控的自动化，提高生产效率及设备运行稳定性。
⑤ 高温工艺兼容能力： 支持Ar、H₂等不同工艺气氛下的高温退火，可满足不同材料及器件制造过程中的热处理需求。
